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光刻版、掩膜版沒(méi)有區(qū)別，是同一個(gè)東西，都是光刻掩膜版，又被稱作光罩、MASK、photo mask，常見(jiàn)的材質(zhì)有石英玻璃和蘇打玻璃，是制作芯片過(guò)程中，光刻所需的圖形轉(zhuǎn)移工具。

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