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?光刻掩膜版的檢驗是用傳播光檢查制作缺陷，在以前，這項檢查是使用顯微鏡，人工來檢驗完成的，但如今掩膜版越來越復雜，檢驗工作也從人工檢查轉變為自動化工具檢查，這種轉變使得光刻掩膜版的檢驗更加迅速，也減少了錯誤的產生。

光刻掩膜版的檢驗主要分為外觀檢驗以及尺寸測量。

外觀檢驗主要是查看光刻版表面是否有凹陷、針孔、黑點、劃傷、臟點等，同時也要檢測圖形是否完整。

尺寸測量主要是測量切割尺寸、居中尺寸，以及測量CD精度。