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掩膜版也叫光罩，在光刻過(guò)程中用于遮光，以使設(shè)計(jì)好的電路圖案成功曝光在感光膠上。按用途分，目前市面上的掩膜版主要分為菲林掩膜版，鉻掩模版以及干板和液體凸版四種。

菲林掩膜版以樹(shù)脂為基板，價(jià)格相較其他類型更低，但精度較低，使用次數(shù)有限制。

鉻掩模版相較于菲林掩膜版精度更高，更耐用，與此同時(shí)價(jià)格也更高。