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2021-07-24

用以制作 掩模版 的掩膜基板必須內部和兩表面都無缺陷。必須于光刻膠的曝光波長下有高的光學透射率。用來制作掩模版的常見材質有石英玻璃,蘇打玻璃等...

2021-07-24

所有的DUV光刻機,用的光源都是193nm波長的ArF excimer laser,之前的一代DUV,用的光源是248nm波長的KrF excimer laser。另外,EUV光刻機的光源,是...
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