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目前光刻掩膜版的等級規(guī)格主要以尺寸、精度、以及基板材料為維度進行劃分。

光刻掩膜版常用的的基板材料有石英玻璃和蘇打玻璃，石英玻璃熱膨脹系數(shù)較小，但價格較為昂貴，蘇打玻璃熱膨脹系數(shù)較高，需要根據(jù)不同的光刻機及曝光參數(shù)進行特殊的修調(diào)，優(yōu)點是價格低廉。